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微電阻變化量測與微米級電壓測量:Kelvin 四線式量測法原理

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要量測微小的電阻變化(例如感測器隨溫度的微小阻值改變),以及微米級的電壓訊號,重點是不讓量測線路本身成為誤差的來源。這就是 Kelvin 四線式量測法的核心價值。

二線式量測的問題:引線電阻造成誤差

傳統二線式(2-wire)量測中,電流感測線與電壓量測線是同一對導線:

R_measured = R_real + 2 × R_lead

當 R_real 是毫歐姆級的微小電阻時,導線電阻 R_lead(通常 0.1Ω~1Ω)會完全淹沒真實讀數。

Kelvin 四線式量測原理

四線式(4-wire)量測使用兩對獨立的導線:

  • 電流線(Force):將已知電流注入待測電阻
  • 電壓線(Sense):直接連接在電阻兩端,量測電壓降

電壓表的輸入阻抗極高(通常是 10MΩ 以上),因此電壓感測線中的電流幾乎為零,導線電阻不會產生電壓降,量到的就是電阻兩端的真實電壓。

根據歐姆定律:R = V_measured / I_force

Keithley 2182A + 6221 的典型配置

Keithley 2182A(納伏表)和 6221(電流源)的組合是業界標準的低電壓/低電阻量測配置:

  • 6221 提供一個精確的直流電流(從 100fA 到 100mA 可程式)
  • 2182A 量測電壓(靈敏度達 1nV)
  • 兩者配合四線式連接,eliminate 引線電阻誤差

溫度變化對微電阻的影響

微小電阻的量測通常用於溫度感測(RTD, Resistance Temperature Detector):

R(T) = R₀ × [1 + α(T – T₀)]

以銅導線為例,α ≈ 0.00393/°C。室溫下每變化 1°C,電阻改變約 0.4%。

如果量測的是溫度感測器,則 R_change = R₀ × α × ΔT。要計算溫度:ΔT = ΔR / (R₀ × α)

減少熱電動勢(Thermal EMF)的方法

在微電壓量測中,另一個誤差來源是熱電動勢(Thermal EMF, V_thermal),來自於不同金屬接點組成的熱耦合。

解決方法:

  • 交換電流方向量測(Current Reversal):正向電流量一次,反向電流量一次,取平均值,可以消除固定方向的熱電動勢
  • 使用杜美線(Dumet wire):熱電效應較低的導線材料
  • 保持接點溫度穩定:避免溫度梯度
相關分類:電阻
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